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WinWinTec 主页  >  产品  >  白光干涉三维轮廓仪

  
     

 

    
   

SmartWLI系列白光干涉三维轮廓仪

SmartWLI系列产品包括三款性价比超高的白光干涉三维轮廓仪 (SmartWLI-Prime标准型, SmartWLI-Extended扩展型和 SmartWLI-Dual Z-axis双Z轴型) 和一项基于用户现有显微镜的改型方案-
SmartWLI显微镜升级技术。
SmartWLI系列产品两大竞争优势 - 超高的性价比、超快的数据算法（测速快）。

 

白光干涉三维轮廓测量技术优势：

- 非接触

- 纳米级精度

- 测量时间短

- 性能可靠

 

白光干涉，作为一种广泛应用的三维表面形貌测量技术，其纵向分辨率可达到亚纳米级别。
视场内信息采集与数据处理同时进行，大面积区域的高度信息采集时间短。
多用于科学研究与质量管理领域，典型应用包括不同表面粗糙度样品的三维表面形貌测量（如晶片结构、镜面、玻璃与金属）、台阶高度测定和曲面精度测量（如微型透镜）。
SmartWLI系列白光干涉三维轮廓仪创新性地整合白光干涉技术，自主研发的SmartWLI 软件可以对整个测量过程进行监测与控制。
其核心算法基于GBS长期研发与测量经验，具备高效、稳定、精度高等特点。

 

我们提供下列型号设备：

- SmartWLI-Prime标准型 （结构紧凑、性价比高）

- SmartWLI-Extended扩展型（具备自动拼接功能）

- SmartWLI-Dual Z-axis双Z轴型（测量范围更广，涵盖微纳尺寸到毫米尺寸）

- SmartWLI-Microscope显微镜升级技术 （升级用户现有二维显微镜为三维表面形貌测量设备）

 

 



     

技术参数：

干涉物镜放大倍率：

2.5倍 - 100倍

纵向量程：

400 μm

光源：

LED

XY轴样品台：

自动（SmartWLI-扩展型）
或手动（SmartLWI-标准型）

CCD图像传感器:

GigE接口

最大纵向分辨率：

0.1 nm

最大横向分辨率：

520 nm
   

 

SmartWLI系列产品均配备的高效、多功能的MountainsMap® 形貌分析软件，用户可根据软件内置的多种分析模版，生成测量报告。

倾斜台选件，用于调整和拉平干涉条纹。

 

应用领域：

- 表面形貌和粗糙度测定

- 2D显微镜升级为3D显微镜

- 曲面精度测量

    

 

 

  更多信息:  www.gbs-ilmenau.de

 
   
           
 
 
  
 

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